氮化硅片的生产加工方法

时间:2024-10-13 00:38:35

1、陶瓷片以氮化硅陶瓷片为例,以下统称陶瓷片。首先、成型工艺按照用户的不同需求开模具,根据批量的不同可选择手动压机或者自动压机进行压制,压制成型后需要经过等静压以提高胚体的强度。

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2、其次、烧结。将具有一定强度的胚体按照一定的顺序私网褡爸整齐的码放在石墨匣钵内,然后放入烧结炉内进行烧结,根据烧结工艺的不同,所需的时间也不尽相同。一般24-72小时,均可完成陶瓷片的烧结过程。

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3、最后,加工。将烧结好的陶瓷片按照不同用户的需求,经过磨,钻、切割、攻丝等加工,以达到用户需要的尺寸精度以及粗糙度要求。

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