1、方式一，开线扫描。这是三坐标测量仪最基本的扫描方式，从工件的一端开始扫描，扫描的时候会沿着预订的方向，进行扫描，直到扫描到工件的重点，在进行开线扫描的时候。如果工件没有CAD模型，那么扫描的过程中首先输入边界点的名义值，之后则需要输入步长，最后我们就需要检查提前设定的方向的正确性。当所有数据输入完成之后，便可以点击创建按钮。
2、方式二，闭线扫描。三坐标测量仪的这种扫描方式往往允许对工件的内表面或者外表面进行扫描。如果有工件的CAD模型，那么在测量前只需要先确认为闭线操作，之后点击起始点，确定扫描方向之后，对其的补偿和控制方式进行选择，最后便可以点击创建，扫描就可以正式开始了。
3、方式三，面片扫描。三坐标测量仪在进行面片扫描的时候，扫描的往往是工件的一个区域，而不是一条扫描线，在使用这种扫描方式的时候，测量仪往往需要获取工件四个边界点的信息，面片扫描过程中，选择的也是闭线扫描方式，我们同时需要注意将被测量的工件的起始点、方向点、终止点和扫描宽度输入到测量仪上。