Centura5200 BPSG测机步骤

1、量测particle前值，量测recipe是[email protected]

2、量测BPSG浓度前值，CXZ01~10

3、将dummy wafer load进机台，量particle的wafer选PQ颍骈城茇-BPSG-2K,量BP浓度的wafer选PQ-BPSG-10K-A/B/C

4、把测机的值给邱哥或小雷看一下是否合格