1、接下来，以高温四探针夹具和WK 6505P为例进行讲解，其他探针夹具校准步骤一致。1、 使用四根测试线缆连接探针夹具和LCR仪器，确保线缆与接口之间接触良好；
2、调节高温四探针夹具上的上下调节模块，调整探针上升位置，为下一步放入探针校准板提供安装空间；
3、将探针校准板倾斜45度角平稳放入探针样品平台内，使得校准版的四个缺口卡在探针的四根支撑架内；
4、再调节高温四探针夹具上的上下调节模块，探针校准板有两块电极区域，使得每两跟探针针头接触在校准板的一个电极区域上，此时探针与校准板连通在一起，将接触电极扩展到校准板上的两个针管上了；
5、打开WK6505P电源，按键MODE (主菜单)，屏幕选项Calibrate进入校准界面；
6、Open 罕铞泱殳circuit Trim校验，确保当前四根探针针头没有互相接通，处于开路状态,点击屏幕的OPEN ，再点“OK”按钮等待校准完成（无任何提示表示通过，如有错误，会提示相应的对话框）；
7、Short 罕铞泱殳circuit Trim校验，将short短路器件的两根针脚插入校准板上的两个针管内，确诺蝈胂叟保接触良好后，点击 SHORT，再点“OK”按钮等待校准完成（无任何提示表示通过，如有错误，会提示相应的对话框）；
8、HF Comp猾诮沓靥(高频校验)取出short短路器件，将100欧电阻器件的两根针脚插入校准板上的两个针管内，确保接触良好后，点击HF Comp。出现“connect 100R transfer standard to fixture 请放入100R电感校准器”提示框，点击“OK”等待校准完成（无任何提示表示通过，如有错误，会提示相应的对话框）；
9、取出100欧电阻器件，将100PF电容器件的两根针脚插入校准板上的两个针管内，确保接触良好后，出现“connect 100pf transfer standard to fi旌忭檀挢xture 请放入100pf电容校准器”提示框，点击“OK”按钮等待校准完成（无任何提示表示通过，如有错误，会提示相应的对话框）；
10、待校准通过后，按下两个“save”按钮（开短路和高频校准），存储当前校准值。在LCR仪器重新开机后，该测试夹具的校准结果依然保存在系统内，无须再重复校准。